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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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常用间隔层材料软X射线多层膜的设计

雷洁红, 段浩, 邢丕峰, 唐永建

2011, 35(3): 415-417. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.03.033

关键词: 薄膜, 软X射线多层膜, 多层膜设计, 间隔层材料

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沉积条件对氢化锂薄膜形貌和沉积速率的影响

雷洁红, 段涛, 闫正洲, 邢丕峰

2011, 35(4): 535-538. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.04.023

关键词: 薄膜, 沉积条件, 沉积速率, 表面形貌, 脉冲激光沉积

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